金融界 2024 年 8 月 30 日音讯，天眼查知识产权信息数据显现，嘉兴驭光光电科技有限公司获得一项名为“微纳光学器材制造办法“，授权公告号 CN112731774B，请求日期为 2020 年 12 月。
专利摘要显现，本请求公开了一种微纳光学器材制造办法，该办法有：使用半导体光刻和刻蚀工艺在晶圆上构成榜首微纳结构；在晶圆上涂敷光刻胶；将榜首区域中的光刻胶彻底移除，以显露至少部分榜首微纳结构，并对第二区域中的光刻胶进行灰度曝光，以在第二区域的光刻胶上构成第二微纳结构；以及将榜首和第二微纳结构转印到待加工资料的表面上。依据本发明施行例，通过在现已通过半导体光刻刻蚀工艺处理的晶圆上涂覆灰度曝光用的光刻胶并挑选性地进行部分区域的彻底除胶和部分区域的灰度曝光，在一个一致的制造流程中交融了两种不同的微纳结构制造流程与工艺；相应地，能轻松完结不同的微纳结构的结构制造。
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